解决方案丨1+1>2!实现亚微米级对射测厚!

通过两个PDH系列激光位移传感器上下对称布局,同步连续获取量块的厚度,结合高精度运动平台实现量块厚度的动态测量。

动态测试单点重复性,测量20次。


通过两个PDH系列激光位移传感器上下对称布局,同步连续获取量块的厚度,结合高精度运动平台实现量块厚度的动态测量。

动态测试单点重复性,测量20次。

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